Commercialization of Ultra Micro Fabrication Using Electroplating

Author:

HIRATA Yoshihiro,INAZAWA Shinji,CHIBA Yukifumi,NITTA Kouji,SUGIHARA Naoki

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference4 articles.

1. 1) A. Rogner, J. Eicher, D. Munchmeyer, R.-P. Peters and J. Mohr, : The LIGA Technique-What Are the New Opportunities, J. Micromech. Microeng., 2, 3 (1992) 133.

2. 2) Y. Hirata, K. Nakamae, T. Numazawa and H. Takada, : Piezoelectric Composites of Fine PZT Rods Realized by LIGA Process, Sensors and Materials, 16, 4 (2004) 199.

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献,注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献,订阅后可以查看论文全部施引文献

1. Metal Surface Micromachining;3D and Circuit Integration of MEMS;2021-04-23

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