Investigations on Polisher Life in Ultra-high Pressure and Speed Polishing of Aluminum Type of Magnetic Disk Substrate (2nd Report)

Author:

YAMAGUCHI Kanta,YASUI Heiji,MATSUKAWA Seiji,NIKI Takuya,TAKAGI Masataka

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference4 articles.

1. JSPE from now on

2. 2) 安井平司,佐藤 郁,松永竜二,小林 深:アルミナ砥粒による磁気ディスク基板の高平滑ポリシングに関する研究 (第1 報),精密工学会誌,60,1 (1994)128.

3. 3) 安井平司,山口寛太,栗林将司:新概念高能率超平滑ポリシング盤の開発 (第1 報),精密工学会誌,73,12 (2007)1325.

4. 4) 安井平司:ガラス磁気ディスク基板の超平滑ポリシング (第1 報)-除去速度と平滑度に及ぼすポリシング圧力の影響-,精密工学会誌,70,9 (2004)1206.

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