1. 1) K.C. Fan and M.J. Chen: A 6-degree-of-freedom measurement system for the accuracy of X.Y stages, Precision Engineering, 24, 1 (2000) 15.
2. 2) 今井登,清水伸二:工作機械直進テーブル運動精度の6自由度同時測定法の提案,精密工学会誌,67, 1 (2001) 126.
3. 3) 堤正臣,齋藤明徳,赤松真材:2つの変位センサによるCNC工作機械の運動精度測定方法,精密工学会誌67, 12 (2001) 2021.
4. 4) 垣野義昭,井原之敏ほか4名:交差格子スケールを用いた超精密NC工作機械の運動精度の測定と加工精度の改善,精密工学会誌62, 11 (1996) 1612.
5. 5) J. Ye, M. Takac et al.: Exact algorithm self-calibration of two-dimensional precision metrology stages, Precision Engineering, 20, 1 (1997) 16.