Lapping Performances of a Stainless Steel Mesh Lap

Author:

KAWAHATA Yuji,KIRINO Okiharu,ZHANG Yu,TANI Yasuhiro

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference5 articles.

1. 1) 藤平龍彦, 宝泉徹, 栗原俊治:パワー半導体の現状と展望, 富士電機技報, 89, 4 (2016) 226.

2. 2) 加藤智久:NEDO プロ「低酸素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト」での大口径SiCウェハ加工技術開発, 精密工学会誌, 80, 1 (2014) 18.

3. 3) 谷泰弘:研磨工具は未知の世界, 精密工学会誌, 81, 12 (2015) 1078.

4. 4) 川波多裕司, 桐野宙冶, 張宇, 谷泰弘:金属短繊維含有ラップ工具の開発, 精密工学会誌, 83, 7 (2017) 672.

5. 5) 鈴木清, 植松哲太郎, 中川威雄:びびり振動切削における繊維製造領域, 精密工学会誌, 53, 6 (1987) 921.

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