Nano/Micro Optical Technology for Precision Engineering and Its Prospects

Author:

TAKAHASHI Satoru1

Affiliation:

1. 東京大学先端科学技術研究センター

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference38 articles.

1. 1) 宮本勇:レーザ加工,精密工学会誌,75, 1(2009)66.

2. 2) 吉澤徹:光計測,精密工学会誌,75, 1(2009)93.

3. 3) 増原宏編:レーザープロセシング応用便覧,NGT(2006).

4. 4) 松本弘一:光応用精密計測と長さ標準の発展,応用物理,69, 9(2000)631.

5. 5) 高増潔:光,非光による形状計測:精密測定の課題,2006年度秋季精密工学会学術講演会シンポジウム資料(2006)39.

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