Influence of Na2SO4-Electrlytic Oxidizing Water on Polishing Surface of Oxygen Free Copper

Author:

SATO Unkai1,KAWAKUBO Hideki1

Affiliation:

1. 信州大学教育学部

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference13 articles.

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2. 2) 有賀康博, 梶原桂, 尾崎良一, 三輪洋介:半導体リードフレーム用銅合金「スーパーKFC」の開発, まてりあ, 47,1(2008)33.

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4. 4) 配線板製造技術委員会:プリント配線板のめっき技術におけるトピックス, エレクトロニクス実装学会誌, 17,1(2014)15.

5. 5) 田嶋和貴:微細回路形成用(L/S 5µm以下)の表面処理技術, 表面技術, 65,8(2014)357.

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