Measurement of Surface Profile Using Micro-Coordinate Measuring Machine

Author:

KONDO Yohan1

Affiliation:

1. 産業技術総合研究所 計量標準総合センター

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference9 articles.

1. 1) 佐藤敦:非接触による三次元表面性状の測定の現状―三次元規格の意義とものづくりへの活用―, 精密工学会誌, 81, 10 (2015) 922.

2. 2) 森田晋也:加工機上計測および光学機能シミュレーションによる超精密光学素子の高精度化技術, 精密工学会誌, 85, 7 (2019) 632.

3. 3) 根岸真人:接触式形状測定の企業における技術開発動向, 精密工学会誌, 80, 6 (2014) 506.

4. 4) UA3P-4000, https://www.panasonic.com/jp/company/ppe/ua3p/specification.html

5. 5) 萩原誠一, 眞分幸雄, 境久嘉, 茂呂澤孝浩, 山本英樹, 神永哲也:超精密直径測定機, 精密工学会誌, 72, 9 (2006) 1146.

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