Development and Commercial Application of Glue-Free Adaptive High Precision X-Ray Mirror
-
Published:2023-02-05
Issue:2
Volume:89
Page:147-152
-
ISSN:0912-0289
-
Container-title:Journal of the Japan Society for Precision Engineering
-
language:en
-
Short-container-title:Journal of the Japan Society for Precision Engineering
Author:
ICHII Yoshio1, SHIROMA Shinsaku1, NAKAMORI Hiroki1, INOUE Takato2, MATSUYAMA Satoshi2
Affiliation:
1. (株)ジェイテックコーポレーション 2. 名古屋大学大学院工学研究科物質科学専攻松山研究室
Publisher
Japan Society for Precision Engineering
Subject
Mechanical Engineering
Reference19 articles.
1. 1) K. Yamauchi, H. Mimura, K. Inagaki and Y. Mori : Figuring with subnanometer-level accuracy by numerically controlled elastic emission machining, Rev. Sci. Instrum., 73 (2002) 4028. 2. 2) 山内和人, 山村和也, 三村秀和, 佐野泰久, 久保田章亀, 関戸康裕, 上野一匡, Alexei Souvorov, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 森勇藏：高精度X線ミラーのための干渉計を利用した形状計測システムの開発, 精密工学会誌, 69, 6 (2003) 856. 3. 3) 湯本博勝, 三村秀和, 松山智至, 山村和也, 佐野泰久, 上野一匡, 遠藤勝義, 森勇藏, 西野吉則, 玉作賢治, 矢橋牧名, 石川哲也, 山内和人：硬X線ナノ集光用超高精度楕円ミラーの作製と1次元集光性能の評価, 精密工学会誌論文集, 71, 9 (2005) 1137. 4. 4) H. Mimura, S. Handa, T. Kimura, H. Yumoto, D. Yamakawa, H. Yokoyama, S. Matsuyama, K. Inagaki, K. Yamamura, Y. Sano, K. Tamasaku, Y. Nishino, M. Yabashi, T. Ishikawa and K. Yamauchi : Breaking the 10 nm barrier in hard-X-ray focusing, Nature Physics, 6, 2 (2010) 122. 5. 5) H. Yumoto, H. Mimura, T. Koyama, S. Matsuyama, K. Tono, T. Togashi, Y. Inubushi, T. Sato, T. Tanaka, T. Kimura, H. Yokoyama, J. Kim, Y. Sano, Y. Hachisu, M. Yabashi, H. Ohashi, H. Ohmori, T. Ishikawa and K. Yamauchi : Focusing of X-ray free-electron laser pulses with reflective optics, Nature Photonics, 7 (2012) 43.
|
|