Current Status and Vision in Machining Technology of SiC Wafers for Power Devices

Author:

KAWATA Kenji1

Affiliation:

1. (国研) 産業技術総合研究所先進パワーエレクトロニクス研究センター

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference12 articles.

1. 1) 加藤智久:パワーデバイス用SiCウェーハの加工技術, 砥粒加工学会誌, 61, 8 (2017) 418.

2. 2) 加藤智久:NEDOプロ「低炭素社会を実現する新材料パワー半導体プロジェクト」での大口径SICウェハ加工技術開発, 精密工学会誌, 80, 1 (2014) 18.

3. 3) 平田和也ほか:SiCの高速レーザースライシング技術の開発, 第86回レーザー加工学会講演論文集, (2016) 145.

4. 4) SILTECTRA : Cold Sprit method, http://www.siltectra.com/en/technologie/siltectra-losung/.

5. 5) 山田洋平ほか:SiCの精密レーザスライシング (第1報), 砥粒加工学会誌, 64, 12 (2020) 635.

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