Study on Measurement of Surface Roughness by Specular Reflectance using a Single Slit

Author:

FUKAYA Jisuke,SASAKI Akira,IWATA Futoshi,TAGUCHI Takayuki,HASHIMOTO Yasuyuki,NAKAYAMA Takashi

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference11 articles.

1. 1) 非接触方式による精密加工表面の性状評価,精機学会編(1985)68.

2. 2) 蓮沼 宏;金属仕上げ面からの反射,精密機械,22,4(1959)131.

3. 3) 酒井 泉,沢辺雅二;光学的反射方式による表面粗さ測定の研究,精密機械,48,11(1982)1478.

4. 4) 柳 和久,前田哲治,塚田忠夫;反射レーザ光強度分布測定による精密加工面粗さの非接触評価技法,精密工学会誌,52,4 (1986)723.

5. 5) 中野健一,中条知和,廣田哲也;反射光の強さを用いた表面粗さ測定,東京都立工業技術センター研究報告,24, (1995)13.

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1. The Proposal of Measuring Method of Machined Surface Roughness Using Transparent Replica;TRANSACTIONS OF THE JAPAN SOCIETY OF MECHANICAL ENGINEERS Series C;2012

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