Femtosecond Laser Patterning and Anisotropic Wet Etching of Silicon Wafer for Fabrication of Periodic Structures

Author:

KAWAHARA Kosuke,NINOMIYA Takafumi,SAWADA Hiroshi,YOKOTANI Atsushi

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference10 articles.

1. 1) A.Y. Vorobyev and C. Guo, Appl.: Effects of nanostructure-covered femtosecond laser-induced periodic surface structures on optical absorptance of metals, Appl. Phys. A (Rapid Comm.) 86, (2007) 321.

2. 2) M. Groenendijk: Fabrication of super hydrophobic surfaces by fs laser pulses, Laser Technik Journal 5, 3 (2008) 44.

3. 3) 橋詰富博,平家誠嗣:走査プローブ顕微鏡による評価技術,日立評論,90, 4 (2008) 372.

4. 4) 深瀬達也,森田 昇,川堰宣隆,山田 茂,高野 登,大山達雄,芦田 極:トライボナノリソグラフィー(TNL)と化学エッチングを併用した極微細構造形成(第2報),2008 年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集, (2008) 797.

5. Laser mirror damage in germanium at 10.6 μm

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