Wide Bandwidth of Absolute Velocity / Displacement Sensors and Its Application to Vibration Isolated Table

Author:

WAKUI Shinji,KAI Takashi,KOJIMA Daisuke

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference8 articles.

1. 1) 涌井伸二,根岸康人:検定子コイルを用いたサーボ形速度センサの実現,精密工学会誌, 72, 8 (2006) 1038.

2. 2) 涌井伸二,小島大典,根岸康人:検定コイルを用いたサーボ形変位センサの実現,精密工学会誌, 73, 3 (2007) 393.

3. 3) 井田勝巳,斉藤弘樹,佐藤吉典,土井文夫,背戸一登:振動制御のための速度.変位センサの開発,日本機械学会論文集C,63, 615(1998) 3722.

4. 4) 東京大学(大竹雄次):平行な磁場中に配属された永久磁石を有する振り子を用いた無定位回転型振動検出器,特許第3502911 号(2003)

5. Development of velocity sensor with high frequency band and its application to a vibration isolate table

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