Minimal Manufacturing of Developing Factory System for Micro Electro-Mechanical Systems Devices

Author:

NAKANO Shizuka,ASHIDA Kiwamu

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference3 articles.

1. 1) K. E. Petersen : Silicon as a Mechanical Material, Proc. IEEE, 70, 5 (1982) 420.

2. 2) M. Elwenspoek and H. V. Jansen : Silicon Micromachining, Cambridge University Press, (1999).

3. 5) J. Akedo and M. Lebedev : Microstructure and Electrical Properties of Lead Zirconate Titanate (Pb(Zr52/Ti48)O3) Thick Films Deposited by Aerosol Deposition Method, Jpn. J. of Appl. Phys., 38, 9B (1999) 5397.

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