Carrent Status and Future Vision of High Density Plasma Processing

Author:

HORI Masaru

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference9 articles.

1. Ion Beam Source for Low Energy Ion-Neutral Crossed-Beam Study

2. 2) Y. Horiike and M. Shibagaki: A New Chemical Dry Etching, Jpn. J. Appl. Phys., 15 (1976) 13.

3. 3) N. Hosokawa, R. Matsuzaki and T. Asamaki: RF Sputter-Etching by Fluoro-Chloro-Hydrocarbon Gases, Jpn. J. Appl. Phys. Suppl. 2, Pt. 1 (1974) 4435.

4. 4) 堀池靖浩:電子立国復活のためのプラズマ技術戦略,名古屋大学電気系COEプログラムシンポジウム報告書,(2003) 38.

5. 5) J. W. Coburn and H. F. Winters: Ion-and Electron-assisted Gassurface Chemistry—An Important Effect in Plasma Etching, J. Appl. Phys., 50, 5 (1979) 3189.

同舟云学术

1.学者识别学者识别

2.学术分析学术分析

3.人才评估人才评估

"同舟云学术"是以全球学者为主线,采集、加工和组织学术论文而形成的新型学术文献查询和分析系统,可以对全球学者进行文献检索和人才价值评估。用户可以通过关注某些学科领域的顶尖人物而持续追踪该领域的学科进展和研究前沿。经过近期的数据扩容,当前同舟云学术共收录了国内外主流学术期刊6万余种,收集的期刊论文及会议论文总量共计约1.5亿篇,并以每天添加12000余篇中外论文的速度递增。我们也可以为用户提供个性化、定制化的学者数据。欢迎来电咨询!咨询电话:010-8811{复制后删除}0370

www.globalauthorid.com

TOP

Copyright © 2019-2024 北京同舟云网络信息技术有限公司
京公网安备11010802033243号  京ICP备18003416号-3