High Accuracy Repeatability of the Stage Position on a Stepper

Author:

FUKAGAWA Youzou

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference12 articles.

1. 1) 山崎照彦,リソグラフィー,機誌,89, 809 (1986) 376.

2. 2) 塩竹紀夫,光露光用ステッパ,精密機械,51, 12 (1985) 2184.

3. 3) 崎野茂夫,半導体製造装置,機械設計,40, 8 (1996) 20.

4. 4) 深川容三,品野勇治,中森眞理雄半導体製造装置のステージ格子計測法,精密工学会誌,71, 6 (2005) 791.

5. 5) 深川容三,宮代隆平,中森眞理雄半導体製造装置における重ね合せ誤差の分析,精密工学会誌,72, 10 (2006) 1292.

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