Evaluation of Soft X-ray Multilayer Optics Using Synchrotron Radiation

Author:

HATANO Tadashi

Publisher

Japan Society for Precision Engineering

Subject

Mechanical Engineering

Reference14 articles.

1. 1) T. W. Barbee, Jr., S. Mrowka and M. C. Hettrick : Molybdenum-silicon Multilayer Mirrors for the Extreme Ultraviolet, Appl. Opt., 24, 6 (1985) 883.

2. 2) J. M. Bridges, C. L. Cromer and T. J. McIlrath : Investigation of a Laser-produced Plasma VUV Light Source, Appl. Opt., 25, 13 (1986) 2208.

3. 4) J. I. Larruquert and R. A. M. Keski-Kuha, Appl. Opt., 41, 25 (2002) 5398.

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