High transconductance 0.1 mu m pMOSFET
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Publisher
IEEE
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http://xplorestaging.ieee.org/ielx2/1032/7499/00307502.pdf?arnumber=307502
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1. Extremely high transconductance Ge/Si/sub 0.4/Ge/sub 0.6/ p-MODFET's grown by UHV-CVD;IEEE Electron Device Letters;2000-03
2. p–n junctions formed by BF2 ion implantation and laser annealing;Solid-State Electronics;1999-03
3. High-performance 0.1 [micro sign]m gate-length Ge/Sio0.4Ge0.6 p-channel MODFETs;Electronics Letters;1999
4. Selective laser annealing (SELA) used in the fabrication of Sub-0.1μm MOSFETs;Solid-State Electronics;1998-04
5. Counterdoped very shallow p+/n junctions obtained by B and Sb implantation and codiffusion in Si;Journal of Applied Physics;1998-02
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