Highly Enhanced Memory Window of 17.8V in Ferroelectric FET with IGZO Channel via Introduction of Intermediate Oxygen-Deficient Channel and Gate Interlayer
Author:
Affiliation:
1. Device Research Center, Samsung Advanced Institute of Technology, Samsung Electronics,Thin Film Technical Unit,Suwon,Gyeongi-do,Korea,16678
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/10631290/10631310/10631534.pdf?arnumber=10631534
Reference8 articles.
1. VLSI 85: VLSI design of digital systems
2. A simulation study on memory characteristics of InGaZnO-channel ferroelectric FETs with 2D planar and 3D structures
3. VLSI'87: VLSI design of digital systems
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