Automatic 4 K Cryogenic Probe Station for DC and Microwave Measurements on 150-mm and 200-mm Wafers
Author:
Affiliation:
1. HPD-A FormFactor Company,Boulder,Colorado,USA
2. MIT Lincoln Laboratory,Lexington,Massachusetts,USA
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9865233/9865240/09865525.pdf?arnumber=9865525
Reference17 articles.
1. Quantum–classical interface based on single flux quantum digital logic
2. Cryogenic wafer prober for Josephson devices
3. An on-wafer cryogenic microwave probing system for advanced transistor and superconductor applications;laskar;Microwave Journal,1993
4. High Volume Electrical Characterization of Semiconductor Qubits
Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献 订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献
1. RF and microwave metrology for quantum computing – recent developments at the UK’s National Physical Laboratory;International Journal of Microwave and Wireless Technologies;2024-04-25
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