Emulation of Plasma Load Reactances by Saturation Control of Low-Permeability Inductors
Author:
Affiliation:
1. Arizona State University
2. Lam Research Corporation
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10509012/10509018/10509427.pdf?arnumber=10509427
Reference43 articles.
1. Multi-Inverter Discrete Backoff: A High-Efficiency, Wide-Range RF Power Generation Architecture
2. Comparison of Radio-Frequency Power Architectures for Plasma Generation
3. A 1.5 kW Radio-Frequency Tunable Matching Network Based on Phase-Switched Impedance Modulation
4. Tunable Matching Networks Based on Phase-Switched Impedance Modulation1
5. A wide-band dummy load
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