Hybrid CMOS/BEOL-NEMS technology for ultra-low-power IC applications

Author:

Xu Nuo,Sun Jeff,Chen I-Ru,Hutin Louis,Chen Yenhao,Fujiki Jun,Qian Chuang,Liu Tsu-Jae King

Publisher

IEEE

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1. Monolithically 3-D Integrated Nanoelectromechanical (NEM) Configuration Memory for CMOS-NEM Hybrid Demultiplexer;IEEE Electron Device Letters;2023-12

2. Beyond CMOS;2021 IEEE International Roadmap for Devices and Systems Outbriefs;2021-11

3. Fabrication of Freestanding Metallic MEMS Actuator for Minimal Stress-Induced Air-gap Variations;2020 5th IEEE International Conference on Emerging Electronics (ICEE);2020-11-26

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