Hybrid CMOS/BEOL-NEMS technology for ultra-low-power IC applications
Author:
Publisher
IEEE
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http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/7038718/7046955/07047130.pdf?arnumber=7047130
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1. Monolithically 3-D Integrated Nanoelectromechanical (NEM) Configuration Memory for CMOS-NEM Hybrid Demultiplexer;IEEE Electron Device Letters;2023-12
2. MEM Relay For the Internet of Things Applications;2022 36th Symposium on Microelectronics Technology (SBMICRO);2022-08-22
3. Toward Monolithically Integrated Hybrid CMOS-NEM Circuits;IEEE Transactions on Electron Devices;2021-12
4. Design and Demonstration of MEM Relay-Based Arithmetic and Sequential Circuit Blocks;IEEE Transactions on Electron Devices;2021-12
5. Beyond CMOS;2021 IEEE International Roadmap for Devices and Systems Outbriefs;2021-11
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