Polysilicon microgripper
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Publisher
IEEE
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http://xplorestaging.ieee.org/ielx2/107/3334/00109818.pdf?arnumber=109818
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1. Fabrication of Novel MEMS Microgrippers by Deep Reactive Ion Etching With Metal Hard Mask;Journal of Microelectromechanical Systems;2017-08
2. Self-Assembly of Micromachining Systems Powered by Janus Micromotors;Small;2015-12-09
3. A Microgripper with a Post-Assembly Self-Locking Mechanism;Sensors;2015-08-14
4. Electrostatically actuated FGM micro-tweezer under the thermal moment;Microsystem Technologies;2013-03-15
5. A rotary comb-actuated microgripper with a large displacement range;Microsystem Technologies;2013-01-24
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