Implementation of an all-digital electrostatic micro-mirror controller
Author:
Affiliation:
1. University of Malta,Department of Microelectronics & Nanoelectronics,Msida,Malta
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10267916/10267866/10267937.pdf?arnumber=10267937
Reference9 articles.
1. Optical Position Feedback for electrostatically driven MOEMS-Scanners;andreas;SPIE MOEMS and Miniaturized Systems XI,2012
2. Modeling and Simulation of a Parametrically Resonant Micromirror With Duty-Cycled Excitation
3. An electrostatically driven 2D micro-scanning mirror with capacitive sensing for projection display
4. Resonant micro-mirror oscillation amplitude measurement and all digital actuation
5. Resonant micro-mirror electrical characterisation towards tunable digital drive circuit design
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