Highly sensitive force sensor featuring a MEMS-instrumented buckling lamella
Author:
Affiliation:
1. Mines Saint-Etienne, Centre CMP,Département FEL,Gardanne,France,F-13541
2. STMicroelectronics,Rousset,France,13106
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10267916/10267866/10267951.pdf?arnumber=10267951
Reference11 articles.
1. Micro Mechanical Transducers - Pressure Sensors, Accelerometers and Gyroscopes;min-hang;Handbook of Sensors and Actuators,2000
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3. Drift and Conductivity Mobility in Silicon
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