New paradigm of Yield analysis in Big Data and AI Era in Semiconductor Manufacturing
Author:
Affiliation:
1. PDF Solutions, Inc,Santa Clara,CA,USA,95050
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10511270/10511310/10512106.pdf?arnumber=10512106
Reference4 articles.
1. KFAB DecisionSite: An Interactive, Exploratory Yield;Flores;Proc. ASMC,2002
2. Semantic modeling for smart manufacturing: towards a data alignment through knowledge formalization for semiconductor wafer fabrication
3. Using Machine Learning with On-Chip Sensors for Reducing Time-To-Market and Improving Predictive Maintenance in-Field;Gupta
4. Expediting manufacturing safe launch with Big Data AI/ML analytic solutions on the cloud;Yu;Proc. EDTM,2024
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