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Fundamental studies on the curing behavoir of porous CVD and spin-on dielectrics

  • Published:2020-10-05 Issue: Volume: Page:
  • ISSN:
  • Container-title:2020 IEEE International Interconnect Technology Conference (IITC)
  • language:
  • Short-container-title:

Author:

Koehler Nicole1,Attallah Ahmed G.2,Liedke Maciej O.2,Butterling Maik2,Hirschmann Eric2,Ecke Ramona3,Wagner Andreas2,Schulz Stefan E.3

Affiliation:

1. Technische Universität Chemnitz,Center for Microtechnologies,Chemnitz,Germany

2. Helmholtz-Zentrum Dresden-Rossendorf,Institute of Radiation Physics,Dresden,Germany

3. Fraunhofer Institute for Electronic Nano Systems,Back-End of Line,Chemnitz,Germany

Publisher

IEEE

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