Radiation-Induced Charge Trapping in Shallow Trench Isolations of FinFETs
Author:
Affiliation:
1. University of Padova, Padova, Italy
2. Arizona State University, Tempe, AZ, USA
3. CERN, Geneva, Switzerland
4. Vanderbilt University, Nashville, TN, USA
Funder
National Institute for Nuclear Physics ? INFN, Italy
Publisher
Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Nuclear Energy and Engineering,Nuclear and High Energy Physics
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/23/4689328/10294314.pdf?arnumber=10294314
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