Single Crystal Lithium Niobate Cylindrical Resonator for High-Performance Miniature Piezoelectric Gyroscope
Author:
Affiliation:
1. Kyoto University,Dept. Micro Engineering,Kyoto,Japan
2. Tamagawa Seiki Co. Ltd.,Motion Control Lab.,Hachinohe,Japan
3. Tamagawa Mobile Equipment Co. Ltd.,Hachinohe,Japan
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10502028/10502030/10502044.pdf?arnumber=10502044
Reference8 articles.
1. Piezoelectric Disk Gyroscope Fabricated With Single-Crystal Lithium Niobate
2. Lithium niobate: Summary of physical properties and crystal structure
3. Ultrasonic device using piezoelectric single crystals;Morita;J. Acoustic. Soc. Japan,2016
4. Mode-Matching of Wineglass Mode Disk Resonator Gyroscope in (100) Single Crystal Silicon
5. A single-crystal silicon vibrating ring gyroscope
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