Ultrasonic micromotors
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Publisher
IEEE
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http://xplorestaging.ieee.org/ielx2/857/2385/00067086.pdf?arnumber=67086
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1. Cavity-agnostic acoustofluidic manipulations enabled by guided flexural waves on a membrane acoustic waveguide actuator;Microsystems & Nanoengineering;2024-03-08
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3. Low-Friction, High-Speed Rotary 3-Phase Micromotor Using the PolyMUMPS Process;Journal of Microelectromechanical Systems;2020-08
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