Towards building OPC-UA companions for semi-conductor domain
Author:
Publisher
IEEE
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http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/8851311/8868236/08869171.pdf?arnumber=8869171
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5. Erstellung und Management von Informationsmodellen für bestehende Produktionssysteme;at - Automatisierungstechnik;2020-04-30
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