1. Technische Universität Chemnitz,Center for Microtechnologies,Chemnitz,Germany
2. BiFlow Systems GmbH,Chemnitz,Germany
3. Jobst Technologies GmbH,Freiburg,Germany
4. Fraunhofer ENAS,System Packaging,Chemnitz,Germany
5. Technische Universität Chemnitz,Center of Microtechnologies,Chemnitz,Germany