The impact of data fragmentation on processing time modeling in semiconductor manufacturing : *Topic: IE: Industrial Engineering
Author:
Affiliation:
1. Univ. Clermont Auvergne CNRS, UMR 6158 LIMOS,Mines Saint-Etienne,Saint-Etienne,France,F-42023
2. Minds.ai,Santa Cruz,CA,95060
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10121052/10121025/10121069.pdf?arnumber=10121069
Reference19 articles.
1. PHM data challenge,2016
2. The Monge–Kantorovich Mass Transference Problem and Its Stochastic Applications
3. Aggregate modeling of semiconductor equipment using effective process times
4. Histogram-based outlier score (Hbos): A fast unsupervised anomaly detection algorithm;goldstein;KI-2012 Poster and Demo Track,2012
5. The Cramer distance as a solution to biased Wasserstein gradients;bellemare;arXiv preprint arXiv 1705 10743,2017
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