Impact of Transducer Aspect Ratio on the performance of AlN Hybrid SAW/BAW Resonators
Author:
Affiliation:
1. Univ. Grenoble Alpes,CEA, Leti,Grenoble,France
2. Soitec,Besançon,France
3. Univ Lille, CNRS, Ecole Centrale, Junia, Univ Valenciennes, IEMN, UMR 8520,Lille,France
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/10306337/10306342/10307380.pdf?arnumber=10307380
Reference4 articles.
1. Hybrid BAW/SAW AlN and AlScN thin film resonator
2. High Quality Factor Hybrid SAW/BAW Resonators
3. AlN Hybrid-Coupled Resonators With High Acoustic Velocity Layer
4. 3rd type of FBARs?;plessky;Proceedings of the 2013 IEEE International Ultrasonics Symposium,0
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