An eight-mass MEMS gyro with area-variable comb capacitance
Author:
Affiliation:
1. Nanjing University of Science and Technology,School of Mechanical Engineering,Nanjing,China
Funder
National Natural Science Foundation of China
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/10639541/10639542/10639854.pdf?arnumber=10639854
Reference7 articles.
1. 1.3 mm2 Nav-Grade NEMS-Based Gyroscope
2. Type I and Type II Micromachined Vibratory Gyroscopes
3. Development of a Navigation-Grade MEMS IMU
4. A mode order optimized disk resonator gyroscope considering thermoelastic damping
5. A Real-Time Automatic Mode-Matching Method Based on Phase-Shifted Virtual Coriolis Force for MEMS Disk Resonator Gyroscope
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