Position Sensing of Electrostatic MEMS Actuator
Author:
Affiliation:
1. Brno University of Technology,Dept. of Radio Electronics,Brno,Czech Republic
2. Brno University of Technology/Univ. of Defence,Dept. of Microelectronics/EE,Brno,Czech Republic
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9970762/9970770/09971110.pdf?arnumber=9971110
Reference7 articles.
1. Adaptive Prefiltor Design for Control of Quasistatic Microscanners;janschek;Proc of 6th IF AC Symposium on Mechatronic Systems,2013
2. Fluid effects in vibrating micromachined structures
3. Modeling Electrostatic MEMS Actuator
4. Closed-loop control of gimbal-less MEMS mirrors for increased bandwidth in LiDAR applications;milanovi?;Proc SPIE 10191 Laser Radar Technology and Applications XXII,2017
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