Simulation an Electrical Performance of Aluminium Nitride using Different Material Properties
Author:
Affiliation:
1. School of Electrical Engineering, College of Engineering, Universiti Teknologi MARA,Shah Alam,Malaysia
Funder
Institute of Research Management and Innovation (IRMI) UiTM
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9862946/9862950/09863105.pdf?arnumber=9863105
Reference21 articles.
1. Introduction to COMSOL multiphysics®;multiphysics;Comsol Multiphysics,1998
2. A Reduced Three Dimensional Model for SAW Sensors Using Finite Element Analysis
3. Electromechanical coupling coefficient for surface acoustic waves in single-crystal bulk aluminum nitride
4. Piezoelectric aluminum nitride thin films for microelectromechanical systems
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