Analytical and Experimental Study of Fabrication Process Induced Stress on Pull-in Behaviour of Fixed-Fixed Beam RF-MEMS Switches
Author:
Affiliation:
1. Semi-Conductor Laboratory,S.A.S, Nagar,Punjab,India
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx8/10666970/10667654/10668123.pdf?arnumber=10668123
Reference14 articles.
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4. RF MEMS switches and switch circuits
5. Influence of design and fabrication on RF performance of capacitive RF MEMS switches
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