Dynamic Sampling Plans using a Metrology Situation Indicator (MSI)
Author:
Affiliation:
1. LCFC, Arts et Métiers Institute of Technology, Université de Lorraine, HESAM Université,Metz,France,F-57070
2. Université de Lorraine,ERPI,Nancy,France,F-54000
3. STMicroelectronics,Crolles,France,38926
Funder
Association Nationale de la Recherche et de la Technologie
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9989527/9989519/09989765.pdf?arnumber=9989765
Reference10 articles.
1. Dynamic, weight-based sampling algorithm
2. Dynamic Sampling for Risk Minimization in Semiconductor Manufacturing
3. New approach for APC and measurement sampler interaction in a complex process mix logic fab
4. A Novel Dynamic Process Control Scheme to Improve Cycle Time in Fabs
5. An Industrial Risk-Based Indicator for Dynamic Sampling in Semiconductor Manufacturing
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