Novel Fabrication Technology for Thermoelectric Infrared Sensors Using Surface Micromachining
Author:
Affiliation:
1. Hahn-Schickard,Villingen-Schwenningen,Germany
2. University of Freiburg,Hahn-Schickard,Villingen-Schwenningen,Germany
Funder
Ministry of Education
Publisher
IEEE
Link
http://xplorestaging.ieee.org/ielx7/9901388/9901406/09901417.pdf?arnumber=9901417
Reference32 articles.
1. Non-uniform residual stresses for parallel assembly of out-of-plane surface-micromachined structures
2. Material Characterization
3. Induced-strain multimorphs for microscale sensory actuation design
4. Etch rates for micromachining processing
5. Surface micromachining for microelectromechanical systems
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