n/sup +/-poly-to-n/sup +/-silicon capacitor structures for single-poly analog CMOS and BiCMOS processes

Author:

Liou T.-I.,Teng C.-S.

Publisher

Institute of Electrical and Electronics Engineers (IEEE)

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Electronic, Optical and Magnetic Materials

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5. Thin Film Deposition;Fundamentals of Semiconductor Processing Technology;1995

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