A 0.5µm Pixel 3-layer Stacked CMOS Image Sensor with Deep Contact and In-pixel Cu-Cu Bonding Technology

Author:

Lee Gwi-Deok Ryan1,Kim Dae-Hoon1,Kwon Doowon1,Park Jong-Eun1,Cho Dongseok1,Kang Jeongsoon1,Park Gyunha1,Kang Junha1,Jang Minho1,Oh Seungjae1,Kim Doyeon1,Yoon Sol1,Kim Yongjun1,Park Sejin1,Lim Kyungtae1,Oh Dongjun1,Kang SooYoung1,Park Keunhyoung1,Kim Changhwa1,Kim Hyoju1,Kim Taeyeong1,Lee Kyu-Ha1,Cho Hyoukyung1,Hwang Son-Kwan1,Lee Hojin1,Lee Jae-Kyu1,Kim Hyunchul1,Moon Chang-Rok1,Song Jaihyuk1

Affiliation:

1. Samsung Electronics,Hwaseong-si,Republic of Korea

Publisher

IEEE

Reference4 articles.

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