Sputter deposition of Ti underlayers with high crystal orientation on glass disk substrates

Author:

Honda N.,Ariake J.,Chiba T.,Ouchi K.,Iwasaki S.

Publisher

The Magnetics Society of Japan

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Condensed Matter Physics,Instrumentation,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference6 articles.

1. 1) 大内一弘「垂直磁気記録媒体に関する研究」、東北大学学位論文(1984)

2. 2) 本多、有明、大内、岩崎、「高ガス圧.低電圧スパッタ堆積によるCo-Cr垂直異方性膜」第17回日本応用磁気学会学術講演概要集,p. 130(1993)

3. 3) 本多、有明、岡本、千葉、原田、大内、「高Ar圧力スパッタリング堆積による垂直異方性Co-Cr膜の作製」日本素材物性学会平成5年度(第3回)年会講演要旨集,p. 5(1993)

4. 4) Y. Matsuda et. al. ⌈Magnetic and crystallographic properties of Co-Cr/Ti-alloy thin film disks⌋ Journal of The Magnetic Society of Japan Vol. 13, Supplement, No. S1 (1989)

5. 5) 内山 洋一他「基板スパッタクリーニングとCo-Cr薄膜の構造及び磁気特性」第13回日本応用磁気学会学術講演概要集,p. 283(1989)

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