SPUTIERING PROCESS FOR THE MAGNETIC THIN FILM FABRICATION
Author:
Publisher
The Magnetics Society of Japan
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Condensed Matter Physics,Instrumentation,Electronic, Optical and Magnetic Materials
Reference11 articles.
1. (1) Migaku TAKAHASHI, Hiroki SHOJI and Tokuo WAKIYAMA : J. Magn. Soc. Jpn., Vol.13, Suppl., No.S1 585 (1989)
2. Soft magnetic properties of microcrystalline Fe-M-C(M=V, Nb, Ta) films with high thermal stability.
3. Soft magnetism of high‐nitrogen‐concentration FeTaN films
4. (4) 名古久美男、榊間 博、井原慶太:日本応用磁気学会誌、Vol.15, 365 (1991)
5. (5) Tu Chen and T. Yamashita : IEEE Trans.,Magn., MAG-24, 2700 (1988)
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