DIELECTRIC AIN THIN FILMS WITH HIGH REFRACTIVE INDEX PREPARED BY PLASMA FREE DC SPUTTERING
Author:
Publisher
The Magnetics Society of Japan
Subject
Electrical and Electronic Engineering,Condensed Matter Physics,Instrumentation,Electronic, Optical and Magnetic Materials
Reference7 articles.
1. [1] M. Naoe, S.I. Yamanaka and Y. Hoshi, IEEE Trans. Magn., MAG-16, (1980), 646
2. CoCr thin film preparation by facing targets sputtering
3. VACUUM DEPOSITION OF AlN ACOUSTIC TRANSDUCERS
4. [5] J.K. Hagge, IEEE Trans. Compo., Hybrid, and Manufac. Tech., CHMT-12, (1989), 170
1.学者识别学者识别
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