Wafer Industry Design Case Study of Target Trajectory for Reducing Trajectory Deviation of a Belt-Driven Articulated Robot
Author:
Affiliation:
1. Department of Systems Design and Informatics, Kyusyu Institute of Technology
2. Department of Intelligent and Control Systems, Kyushu Institute of Technology
Publisher
The Institute of Systems, Control and Information Engineers
Link
https://www.jstage.jst.go.jp/article/iscie/36/11/36_392/_pdf
Reference18 articles.
1. [1] 大森, 福本: ゴミと信頼性; 日本信頼性技術協会誌, Vol. 11, No. 2, pp. 20–25 (1989)
2. [2] 佐藤: よくわかる最新半導体製造装置の基本と仕組み, 秀和システム (2010)
3. [3] 竹田: 化学汚染の評価分析技術; 表面技術, Vol. 50, No. 10, pp. 887–893 (1999)
4. [4] 前羽, 山川: 真空におけるダストフリー技術; 真空, Vol. 33, No. 12, pp. 909–915 (1990)
5. [5] 長崎: 産業用ロボットにおける搬送動作の高精度化にむけて, 立命館大学大学院修士論文 (2020)
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