深紫外高陡度滤光膜的研制

Author:

Cai Yuanhao 蔡元浩,Fu Xiuhua 付秀华,Lin Zhaowen 林兆文,Wang Ben 王奔,Huang Zhuobin 黄卓彬,Pan Yonggang 潘永刚,Dong Suotao 董所涛,Fu Guangyuan 付广元

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Reference31 articles.

1. 深紫外计算光刻技术研究;陈国栋;激光与光电子学进展,2022

2. Study on deep ultraviolet computational lithography techniques;G D Chen;Laser & Optoelectronics Progress,2022

3. Highly solar-blind ultraviolet selective metal-semiconductor-metal photodetector based on back-illuminated AlGaN heterostructure with integrated photonic crystal filter;Q Cai;Applied Physics Letters,2021

4. 极紫外-真空紫外薄膜光学元件研究;齐润泽;光学学报,2022

5. Thin film optical elements in extreme ultraviolet and vacuum ultraviolet;R Z Qi;Acta Optica Sinica,2022

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