蝙蝠翼效应下矩形光栅特征参数计算方法

Author:

Fan Xiaoxin 范筱昕,Zhang Jiale 张佳乐,Gao Zhishan 高志山,Ma Jianqiu 马剑秋,Li Heran 李赫然,Chen Lu 陈露,Lei Lihua 雷李华,Fu Yunxia 傅云霞,Xu Zhiyi 徐志毅,Zhu Dan 朱丹,Guo Zhenyan 郭珍艳,Yuan Qun 袁群

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference19 articles.

1. Leach R K. Advances in optical surface texture metrology;R Su,2020

2. Principles of interference microscopy for the measurement of surface topography;P de Groot;Advances in Optics and Photonics,2015

3. Malacara D. Optical shop testing;K Creath,2007

4. Fringe modulation skewing effect in white-light vertical scanning interferometry;A Harasaki;Applied Optics,2000

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