碳化硅晶圆超快激光多脉冲模式和脉冲串模式隐形切割技术研究

Author:

Ren Yunpeng 任云鹏,Tu Xincheng 涂新诚,He Kun 何坤,Cheng Li 程力,Ye Yunxia 叶云霞,Ren Xudong 任旭东,Ren Naifei 任乃飞

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Electrical and Electronic Engineering,Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference40 articles.

1. A survey of wide bandgap power semiconductor devices;P Godignon;IEEE Transactions on Power Electronics,2014

2. Review of silicon carbide power devices and their applications;A Q Huang;IEEE Transactions on Industrial Electronics,2017

3. Anisotropic thermal conductivity of 4H and 6H silicon carbide measured using time-domain thermoreflectance;P Q Jiang;Materials Today Physics,2017

4. Application prospect of silicon carbide devices in the field of energy saving and emission reduction;R J Ren;Energy of China,2018

5. 碳化硅器件在节能减排领域的应用展望;许泓;中国能源,2018

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