TIE和角谱迭代用于光学元件表面划痕深度检测-Reference-Cited by-同舟云学术

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TIE和角谱迭代用于光学元件表面划痕深度检测

Published:2023 Issue:14 Volume:43 Page:1412002
ISSN:0253-2239
Container-title:Acta Optica Sinica
language:en
Short-container-title:光学学报

Author:

Meng Xin 孟昕,Wang Hongjun 王红军,Wang Dasen 王大森,Tian Ailing 田爱玲,Liu Bingcai 刘丙才,Zhu Xueliang 朱学亮,Liu Weiguo 刘卫国

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Subject

Atomic and Molecular Physics, and Optics,Electronic, Optical and Magnetic Materials

Reference46 articles.

1. 光学元件的疵病检测及现状;陆敏;光学仪器,2020

2. Defect detection and present situation of optical components;P P Gao;Optical Instruments,2020

3. 基于散射场分布拟合逼近的表面缺陷检测;武雄骁;激光与光电子学进展,2021

4. Surface defect detection based on scattering field distribution fitting approximation;H J Wang;Laser & Optoelectronics Progress,2021

5. 光学元件表面缺陷检测方法研究现状;向弋川;光学仪器,2018

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