微柱镜面周期性纹理结构衍射杂散光研究-Reference-Cited by-同舟云学术

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微柱镜面周期性纹理结构衍射杂散光研究

Published:2024 Issue:5 Volume:51 Page:0513001
ISSN:0258-7025
Container-title:Chinese Journal of Lasers
language:en
Short-container-title:Chin. J. Laser

Author:

Sun Hao 孙昊,Tang Le 唐乐,Wang Chunyan 王春艳,Zhang Weiguo 张为国,Du Chunlei 杜春雷,Xia Liangping 夏良平

Publisher

Shanghai Institute of Optics and Fine Mechanics

Reference20 articles.

1. Influence of surface roughness on wavefront sensing performance of active illumination beacon;L Z Dong;Chinese Journal of Lasers,2019

2. 目标粗糙特性对主动照明信标波前探测的影响;赵旺;中国激光,2019

3. Laser beam machining—a review;A K Dubey;International Journal of Machine Tools and Manufacture,2008

4. Evaluation algorithm of pupil characteristic parameters in lithography illumination system;Y Gan;Chinese Journal of Lasers,2019

5. 光刻机照明系统光瞳特性参数的评估算法;甘雨;中国激光,2019

Cited by 1 articles. 订阅此论文施引文献订阅此论文施引文献，注册后可以免费订阅5篇论文的施引文献，订阅后可以查看论文全部施引文献

1. 基于远场光分布测量微透镜面形误差峰谷值的方法;Acta Optica Sinica;2024

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